[发明专利]一种新型罗茨真空泵测试系统

摘要

本发明公开了一种新型罗茨真空泵测试系统，包括适配机架、压力仪表、流量仪表、冷却器、测试罩、电控箱和旋片真空泵，所述适配机架上安装有罗茨真空泵本体，所述适配机架的一侧设置有旋片真空泵，所述罗茨真空泵本体的输出端连接有冷却器，且冷却器的另一端与旋片真空泵的输入端相连接，所述测试罩与冷却器之间分别连接有小流量转子流量计、中流量转子流量计和大流量转子流量计。该新型罗茨真空泵测试系统，采用气体循环冷却方式，这样用较小的前级真空泵来维持罗茨泵系统内的真空就可以了，而且大小规格的罗茨真空泵都能使用，同时罗茨泵排出气体经过冷却器再循环进入罗茨泵可以抵消罗茨泵气体的压缩发热。