[发明专利]旋转装置在审
申请号: | 201911341491.5 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN113026097A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 向洪春;陈长荣 | 申请(专利权)人: | 上海思擎企业管理合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | C30B25/12 | 分类号: | C30B25/12;C30B25/10;C30B29/36 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200000 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种旋转装置,包括:反应器,包括反应腔;石墨托盘,设置在反应腔内;支撑筒,支撑筒的一端和石墨托盘连接,支撑筒的另一端和旋转盘连接,支撑筒、石墨托盘和旋转盘围成加热腔;磁流体部件,包括固定端和空心轴,固定端的一端和反应器的底壁连接,固定端的另一端和密封板连接,空心轴通过轴承转动设置在固定端内,空心轴和旋转盘连接;加热器,设置在加热腔内,加热器固定在电极板上,电极板和电极的一端连接,电极的另一端依次穿过旋转盘的中心孔和空心轴的内腔与密封板连接。本发明旋转的水平度更好、稳定性高,提高了石墨托盘的使用寿命,加热均匀性好,制备的外延材料厚度均匀性好。 | ||
搜索关键词: | 旋转 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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