[发明专利]一种MEMS红外探测器响应时间测量装置及方法在审
| 申请号： | 201911342208.0 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110940422A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张琛琛;毛海央;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01V13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李博洋 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS红外探测器响应时间测量的装置及方法，该装置包括：辐射光源生成模块，用于产生辐射光源；脉冲激光生成模块，用于根据辐射光源产生功率可调的脉冲激光，并输入到MEMS红外探测器；测量模块，用于测得MEMS红外探测器在脉冲激光不同功率下的第一电压值和第二电压值；响应时间分析处理模块，用于根据第一电压值及第二电压值测量MEMS红外探测器的响应时间。通过实施本发明，克服了传统MEMS红外探测器响应时间测试中斩波器叶片遮挡‑镂空比例不易调节、叶片转动的频率难与探测器匹配、叶片转动耗时长以及采样点时间间隔较大的问题，且激光脉冲信号的测试误差在ns级，实现了对MEMS红外探测器响应时间的准确测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 红外探测器 响应 时间 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡物联网创新中心有限公司，未经无锡物联网创新中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911342208.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
