[发明专利]功率器件、电力电子设备及功率器件的制作方法有效
申请号: | 201911343176.6 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN113035948B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 郭依腾;史波 | 申请(专利权)人: | 珠海格力电器股份有限公司;珠海零边界集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/423;H01L29/78;H01L21/331 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 王莉莉 |
地址: | 519070*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本公开涉及一种功率器件、电力电子设备及功率器件的制作方法。功率器件包括:N型半导体衬底;P型阱层,位于N型半导体衬底的前侧;N型发射层,位于P型阱层的前侧;沟槽,穿过N型发射层和P型阱层并延伸至N型半导体衬底的内部;第一介质层,至少覆于沟槽的底壁和侧壁;栅结构,填充于沟槽内,包括第一部分和第二部分,第一部分更加靠近沟槽的底壁,且第一部分的电阻率大于第二部分的电阻率。 | ||
搜索关键词: | 功率 器件 电力 电子设备 制作方法 | ||
【主权项】:
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