[发明专利]一种氯硅烷前处理系统及氯硅烷中杂质含量的检测方法在审
| 申请号： | 201911344586.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111024483A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 曹岩德;陈英;魏东亮;王海礼;张海燕;田润朝;安军林;蔡延国 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 陈秋梦 |
| 地址： | 810000 青海省西*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氯硅烷前处理系统及氯硅烷中杂质含量的检测方法，涉及痕量杂质分析技术领域。燃烧部具有密闭的燃烧室，且燃烧室的出气口通过管路与吸收部连通，燃烧室内设置有用于盛放氯硅烷的取样器以及用于对取样器内的氯硅烷进行加热燃烧的电加热装置。本发明通过氯硅烷前处理系统的燃烧部对氯硅烷进行密闭燃烧消解，将燃烧氧化后的烟气通入吸收部进行吸收。这样避免了氯硅烷挥发造成的杂质检测结果不准确，上述装置提升了检测结果稳定性。此外，还提供了一种氯硅烷中杂质含量的检测方法，该检测方法从根本上解决了氯硅烷易挥发导致检测结果不准确的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 处理 系统 杂质 含量 检测 方法 | ||
【主权项】：
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