[发明专利]一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法有效
| 申请号： | 201911347149.6 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111074334B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 郭海生;宋克鑫;王富贵;徐卓;李飞;栾鹏;庄永勇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法，包括单独升降装置和联动升降装置，单独升降装置和联动升降装置上分别连接有单独支撑板和联动支撑架，且单独支撑板位于联动支撑架下侧，联动支撑架上均匀设置有若干工位孔，工位孔中设置有坩埚引下装置，联动支撑架上还设置有能够将坩埚引下装置支撑在工位孔中的工位支撑架。本发明能够有效解决目前多坩埚晶体炉工位无法既能联动控制又能独立控制的问题，避免因单一问题工位停炉而影响单晶炉内其它正常工位晶体生长的情况，从而提高整体晶体生长效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 晶体生长 炉工位 联动 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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