[发明专利]LED晶圆扩张翻边装置

摘要

本发明涉及LED晶圆扩张翻边装置，包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板和支撑架，支撑架上固定一底板，底板上竖立安装有导向柱，中部安装有丝杠支座，丝杠支撑于丝杠支座上，升降板套置于导向柱上，升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母，升降板上固定一支撑柱，支撑柱的顶端连接固定盘，固定盘上开设有容纳槽，加热盘置于容纳槽内，固定盘的边缘部设有环形凹槽，膜片撑环嵌入环形凹槽中，固定盘上安装扩晶盘，扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱的顶端安装有扩晶载板，其上安装有旋转压紧机构。自动化实现扩晶后翻边，使扩晶后的膜片长时间保持张力不变，扩晶效率高，效果好。