[发明专利]一种激光三维蚀刻系统及蚀刻方法在审
| 申请号： | 201911348001.4 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111098035A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 齐飞;杜伟光;丁维书 | 申请（专利权）人： | 武汉嘉铭激光股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/082;B23K26/064 |
| 代理公司： | 武汉天力专利事务所 42208 | 代理人： | 罗雷 |
| 地址： | 430000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光三维蚀刻系统，包括计算机，用于控制光纤激光器、电控扩束镜、激光测距系统、同轴合束器、X‑Y振镜系统，同时用于蚀刻图形的处理。能自动生成蚀刻轨迹的三维数据，并完成三维蚀刻，能极大降低工件摆放时的精度要求，能极大降低对蚀刻目标的一致性要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 三维 蚀刻 系统 方法 | ||
【主权项】：
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