[发明专利]真空泵装置有效
| 申请号： | 201911348087.0 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111502954B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 长山真己 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B37/16 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴(8)并且彼此啮合的一对定时齿轮(25)；配置于一对泵转子的上方的固定侧轴承；以及支承轴(8)的自由侧轴承。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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