[发明专利]石墨抗氧化涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201911348744.1 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110950681B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 吴永龙;朱堂龙;王振;王宇湖 | 申请（专利权）人： | 苏州纳迪微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C20/08 | 分类号： | C23C20/08;C04B41/87 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;顾天乐 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种石墨抗氧化涂层的制备方法，属于抗氧化涂层技术领域。该石墨抗氧化涂层的制备方法包括如下步骤：S1，将石墨构件置于硅溶胶中，真空加压浸渍；之后取出并烘干水分；S2，将经步骤S1处理的石墨构件置于惰性气氛保护下，按一定升温制度加热至1400‑1800℃，保温一定时间后降温；S3，按比例混合硅溶胶与碳黑，得到混合浆料；采用混合浆料对经步骤S2制得的石墨构件进行表面喷涂，之后烘干水分；再将石墨构件置于惰性气氛保护下，按一定升温制度加热至1400‑1800℃，保温一定时间后降温，在石墨构件内部及表面均形成致密的抗氧化涂层。本发明使用硅溶胶与碳黑粉体混合制备碳化硅抗氧化涂层，原料便宜，设备简单，工艺可操作性强。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 氧化 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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