[发明专利]一种栅线钝化接触PERC太阳能电池及其制备方法

摘要

本方案公开了太阳能电池领域的一种栅线钝化接触PERC太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：步骤一、制绒、步骤二、扩散；步骤三、刻蚀；步骤四、表面氧化；步骤五、制备磷重掺杂的非晶硅层：采用磷烷与硅烷LPCVD共沉积或PECVD的方式在硅片表面制备一层厚度为30～300nm的N型非晶硅层；步骤六、印刷；步骤七、去油墨刻蚀；步骤八、氧化；步骤九、制备钝化结构：硅片的背面制备氧化铝与氮化硅叠层钝化结构，硅片的正面制备氮化硅钝化结构；步骤十、开孔、步骤十一、印刷：硅片的背面和正面印刷浆料，再进行烧结，即得到成品，即为栅线钝化接触PERC太阳能电池。本申请减少了PERC电池正面金属栅线接触带来的金属复合，增加了开路电压和填充因子，增加了短路电流。