[发明专利]一种PERC太阳能电池碱抛光制备方法在审

专利信息
申请号: 201911351204.9 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN111129221A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 陈小兰;张小明;邵家骏;林纲正;陈刚 申请(专利权)人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23C16/40;C30B33/10
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 金丽英
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开一种PERC太阳能电池碱抛光制备方法,步骤包括制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面钝化膜、正面钝化膜、背面激光、丝网印刷、烧结,其特征在于:在所述制绒步骤之前还包括碱抛光步骤、背面沉积二氧化硅膜步骤,所述碱抛光步骤采用氢氧化钾溶液对硅片进行抛光,所述背面沉积二氧化硅膜步骤采用PECVD技术在硅片背面镀上一层二氧化硅掩膜,所述制绒步骤中添加氢氧化钾添加剂进行制绒。本方法使制得的电池片背面平整度提高,有利于提高背膜钝化效果,提高开压,进而提升了电池的转换效率。
搜索关键词: 一种 perc 太阳能电池 抛光 制备 方法
【主权项】:
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