[发明专利]一种PERC太阳能电池碱抛光制备方法在审
申请号: | 201911351204.9 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN111129221A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 陈小兰;张小明;邵家骏;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23C16/40;C30B33/10 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 金丽英 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种PERC太阳能电池碱抛光制备方法,步骤包括制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面钝化膜、正面钝化膜、背面激光、丝网印刷、烧结,其特征在于:在所述制绒步骤之前还包括碱抛光步骤、背面沉积二氧化硅膜步骤,所述碱抛光步骤采用氢氧化钾溶液对硅片进行抛光,所述背面沉积二氧化硅膜步骤采用PECVD技术在硅片背面镀上一层二氧化硅掩膜,所述制绒步骤中添加氢氧化钾添加剂进行制绒。本方法使制得的电池片背面平整度提高,有利于提高背膜钝化效果,提高开压,进而提升了电池的转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 perc 太阳能电池 抛光 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的