[发明专利]一种硅片切割冷却浆液再利用的方法在审
| 申请号： | 201911353000.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111015988A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 冯震坤 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;B28D7/00;C10M175/00 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 姬颖敏 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片切割冷却浆液再利用的方法，通过将回收冷却浆液和新配置冷却浆液的配比为3～1:1形成再利用冷却浆液，并取样检测COD、表面张力、电导率和pH值，检测达标后才可再利用于切割室，可降低断线率和硅片脏污率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 冷却 浆液 再利用 方法 | ||
【主权项】：
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