[发明专利]一种蒸发镀制石墨相CN薄膜的方法在审
| 申请号： | 201911353347.3 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110819944A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 沈洪雪;姚婷婷;李刚;金克武;王天齐;陆勇;时君 | 申请（专利权）人： | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种蒸发镀制石墨相CN薄膜的方法，包括以下步骤：a、采用单晶硅片作为衬底，清洗衬底，去除衬底表面污渍；b、将衬底置于蒸发镀膜腔室内，采用99.99%纯度的氮化碳粉为蒸发源，在衬底表面蒸发镀制CN薄膜；c、将镀制了CN薄膜的衬底放入退火炉，在400～600℃的温度下真空退火3小时，然后自然冷却至常温，得到所述石墨相CN薄膜；该方法利用蒸发沉积直接得到高纯度的CN薄膜，且薄膜的均匀化好，能够提高薄膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 石墨 cn 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司，未经中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911353347.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
