[发明专利]一种利用等离子体反应器制备六氟化钨的方法在审
| 申请号： | 201911354384.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111115687A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨万吉;张长金;张琴;李国伟;王占卫;曹红梅;张帅;郑艺 | 申请（专利权）人： | 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 |
| 主分类号： | C01G41/04 | 分类号： | C01G41/04 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 057550 河北省邯*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种利用等离子体反应器制备六氟化钨的方法，属于精细化工和环保领域。本发明所述方法包括下列步骤：以高纯度钨粉为钨源，以高纯度原料气体NF |
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| 搜索关键词： | 一种 利用 等离子体 反应器 制备 氟化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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