[发明专利]一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的样品台结构

摘要

一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的样品台，其特征在于，该样品台呈圆柱状结构，上表面具有一凹曲面，该凹曲面具有至少一个凹槽，用于放置化学气相沉积所需的衬底或衬底托盘。所述样品台的上表面全部为凹曲面，或者所述样品台的上表面的中心位置为凹曲面且上表面的外缘位置为平面。本发明提供的样品台上表面采用曲面形设计，解决了样品台中间位置电场强度大、边缘电场强度小的问题。在微波等离子体化学气相沉积反应腔内进行多样品生长时，能有效提高各样品周围的电场及等离子体分布的均匀性，使得各样品能够以均匀的速率生长，改善多样品生长过程中材料的生长质量，提高微波功率利用率。