[发明专利]一种半导体硅材料晶体生长的图像识别控制方法

摘要

本发明公开了一种半导体硅材料晶体生长的图像识别控制方法，在坩埚上方设有三个摄像机，以计算机测量图像中固相硅的面积，通过摄像机及计算机实时测量液面状况，当发现液面出现液态和固态的变动就会给PLC发出信号，让PLC判断液面熔化情况和晶体结晶，当熔化完成，自动切换到生长状态，当生长完成，自动切换至退火状态，完全不用人工介入，避免由于人工介入误操作引起的良率损失。本发明能够直接准确测量晶体熔化速度和晶体结晶速度，提供硅材料生长过程中的数据，真正实现全工艺过程自动化进行。