[发明专利]一种热敏红外探测器在审
| 申请号： | 201911354472.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN113029362A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李吉光;李晓坤;李吉春 | 申请（专利权）人： | 杭州福照光电有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/22 | 分类号： | G01J5/22;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种具有微桥结构的红外探测器，红外探测器包括基底、牺牲层、桥腿、释放保护层、金属电极、敏感材料探测层、绝缘介质层、红外吸收增强层、增强层保护层、第二释放保护层和钝化层，所述牺牲层释放之后形成部分悬空于所述基底上方的图形化的悬空结构，所述红外吸收增强层采用金属纳米材料，有效增加红外吸收率，增强信号灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热敏 红外探测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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