[发明专利]一种蚀刻设备的精密温控系统有效
| 申请号： | 201911354497.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111176345B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 沈灏 | 申请（专利权）人： | 绍兴华立电子有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 绍兴越牛专利代理事务所(普通合伙) 33394 | 代理人： | 王剑 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市袍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体，所述机体的上方左侧固定连接有控水装置，所述控水装置的输出端连接有进水管，所述控水装置的输入端通过皮带与第一传送带的传动轮转动连接，所述第一传送带的中部与机体固定连接，所述机体的内部左上方设置有第一清洗室，所述第一清洗室的内部上方设置有第一清洗装置，所述第一清洗装置的输入端与进水管连通，所述第一清洗室的内部下方设置有第一蓄水池，所述第一清洗室的下方设置有第二清洗室。该蚀刻设备的精密温控系统配备有一套完善的蚀刻系统，能够方便有效地进行蚀刻，并且该设备可以自动调节水流量，还可以根据水流量的大小来改变设备的温度，从而达到自动化控制的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 设备 精密 温控 系统 | ||
【主权项】：
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