[发明专利]一种内透镜及制作方法在审
| 申请号： | 201911355336.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111142176A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚嫦娲 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/00;H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种内透镜及制作方法，制作方法包括以下步骤：在衬底上形成底层内透镜材料层；在底层内透镜材料层上形成光刻胶图形层；以光刻胶图形层为掩模，对底层内透镜材料层进行部分刻蚀，在底层内透镜材料层上形成第一个台阶层；对光刻胶图形层侧壁进行回刻，使第一个台阶层由光刻胶图形层的两侧部分露出；重复前述刻蚀步骤，在底层内透镜材料层上形成多个台阶层，使底层内透镜材料层具有台阶状的表面形貌；去胶清洗；在底层内透镜材料层上覆盖形成顶层内透镜材料层，形成内透镜结构。本发明工艺窗口较大，可采用常规半导体工艺方法实现，易于开发和管控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 制作方法 | ||
【主权项】：
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