[发明专利]一种精确控制PVT法多晶原料的退火纯化装置在审
| 申请号： | 201911356335.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110983443A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;范国峰;张胜涛;袁文博 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B29/40;C30B23/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 李晓敏 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种精确控制PVT法多晶原料的退火纯化装置，属于碳化硅或氮化铝晶体生长技术领域，此装置操作简单，并可以精确的保证退火后多晶原料的高度，粒径和致密度一致，并且保持实验使用多晶料情况一致，既保证实验的一致性和准确性。本发明包括上壳体、承压件、模具、石墨加热器、模具垫片、移动支撑件和下壳体，使用模具垫片将原料与模具进行隔离，提高成品率，模具垫片增加了密封性，防止在压制的过程中原料溢出影响气孔率，在退火纯化过程结束后，方便原料的脱模，驱动装置可以精准的对高度进行控制，刻度显示器可以直观的观察到进给距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确 控制 pvt 多晶 原料 退火 纯化 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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