[发明专利]基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置

摘要

本发明涉及激光器波长检测领域，具体涉及一种基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置。该方法及装置将可调谐激光器发射出的激光分离出一部分；对该一部分激光进行绝对校准，计算出校准波长的λ0、T0；获取法珀标准具的波长λ和外壳温度T，并根据λ0、T0、λ、T对测试的波长进行校正，得到校正波长λcorr，该方法及装置采用法珀温漂反馈的机制，补偿了测试波长由于法珀标准具温度变化带来的漂移，提高了波长测量精度及稳定性；采用空心阴极灯校准的方式，保证了激光波长的绝对精度，提高了波长测量的稳定性及精度。本发明解决了法珀标准具温度探测误差与温度随时间变化的幅值相当的问题，提高了激光器中心波长的精度和稳定度。