[发明专利]一种批量化生产AR衍射光波导的方法和设备有效

专利信息
申请号: 201911356801.0 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN110927873B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 兰红波;许权;赵佳伟;朱晓阳 申请(专利权)人: 青岛五维智造科技有限公司
主分类号: G02B6/13 分类号: G02B6/13;G02B6/124;G02B27/01;B29C64/10;B33Y10/00
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 李琳
地址: 266000 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本公开提供了一种批量化生产AR衍射光波导的方法和设备,本公开可以实现任意形状大面积AR衍射光波导(表面浮雕倾斜光栅)低成本批量化生产,采用双光子聚合微纳3D打印实现任意形状倾斜光栅大面积母版的制造(一方面解决了任意形状倾斜光栅母版制造的难题,另一方面能实现大尺寸晶圆级母版的直接制造,而且还具有制造成本低和生产效率高的优势)。采用复合纳米压印光刻技术(结合压印特有适合倾斜光栅压印工艺和复合软模具),解决了大倾斜角、大槽深倾斜光栅无法脱模导致无法制造的难题,实现了倾斜光栅无约束(几何形状和尺寸)制造。
搜索关键词: 一种 批量 化生 ar 衍射 波导 方法 设备
【主权项】:
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