[发明专利]一种管式PERC太阳能电池背钝化结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其包括：首先在太阳能电池片背面形成氧化铝层；然后在管式PECVD设备中通入含氧混合气体，并采用所述含氧混合气体形成的等离子体对所述氧化铝层进行处理，以提升所述氧化铝层的负电荷密度；最后，在氧化铝层上形成至少一层氮化硅层。本发明通过采用含氧混合气体对氧化铝钝化层进行处理，可有效提升氧化铝钝化层的负电荷密度，进而有效减少表面的电子浓度，从而对太阳能电池形成极好的场效应钝化，提升太阳能电池的转换效率，本发明对PERC太阳能电池转化效率的提升可达到0.05％以上。同时，本发明中的钝化结构各膜层紧密、均匀，有效保证了PERC太阳能电池的效率、良率和可靠性。