[发明专利]一种焊接类溅射靶材中气孔的检测方法在审
| 申请号： | 201911357693.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110992362A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;魏小林;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种焊接类溅射靶材中气孔的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：红光照射下分别得到存在气孔的焊接靶材与不存在气孔的焊接靶材的图像，作为红光检测焊接靶材气孔分布的参考特征图集；记录待检测焊接靶材在红光照射下的图像，并与步骤所得参考特征图集进行对比，从而得到待检测靶材焊缝中的气孔分布情况。本发明利用穿透性强的红光对溅射靶材中的气孔进行检测，利用图像对比即可分辨直径低至0.01mm的气孔，检测过程简便，且成本低，能够以较低的成本与较高的效率保证溅射靶材中气孔的检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 焊接 溅射 靶材中 气孔 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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