[发明专利]一种屈曲微纳结构可调控的柔性功能氧化物薄膜制备方法有效
| 申请号： | 201911358492.0 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111137847B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 刘明;周子尧;胡忠强;彭斌;刘海霞;董国华;邱瑞玢 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
一种屈曲微纳结构可调控的柔性功能氧化物薄膜制备方法，其主要步骤包括在SrTiO |
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| 搜索关键词： | 一种 屈曲 结构 调控 柔性 功能 氧化物 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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