[发明专利]一种原位集成微型起爆单元及激光飞片起爆装置有效
| 申请号： | 201911359606.3 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN113028905B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 吴立志;郭伟;常仕民;杨腾龙;沈云;付帅;张伟;叶迎华;沈瑞琪 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | F42B3/113 | 分类号： | F42B3/113 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 赵毅 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光飞片起爆装置，包括一种小型化脉冲激光器和原位集成微型起爆单元的激光飞片起爆装置，其中，原位集成微型起爆单元通过MEMS阵列一体化集成加工而成，再通过集成化和封装制备成激光飞片起爆装置。本发明采用MEMS一体化原位制备，结构紧密、无间隙；采用AZ5200和Su8原位制备提高了工艺准确性；原位集成微型起爆单元能够效防止了等离子体横向膨胀和扩展造成的能量耗散，提高了等离子体能量利用率。本发明实现了微型起爆单元中飞片换能元部件的集成封装，实现了激光飞片起爆装置的一体化集成，起爆装置整体体积小确保了装置的可靠性与安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 集成 微型 起爆 单元 激光 装置 | ||
【主权项】：
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