[发明专利]一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源在审
| 申请号： | 201911360686.4 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111146049A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 董猛;成永军;裴晓强;习振华;张虎忠;马亚芳;刘珈彤 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J1/46;H01J49/16 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 田亚琪 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源，包括碳纳米管阴极、电离室、准直磁铁、推斥电极、聚焦电极、离子出口电极和物缝电极；碳纳米管阴极产生的电子进入电离室，并在准直磁铁产生的磁场作用下电离中性气体，电离得到的离子束依次在推斥电极、电离室、聚焦电极、离子出口电极和物缝电极所加载电压产生的静电场的作用下，加速、聚焦于物缝电极的圆孔处；本发明能够在真空环境下具备较高的电子利用率和离子传输效率，进而提高离子源灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 发射 阴极 小型 离子源 | ||
【主权项】：
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