[发明专利]一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法在审
| 申请号： | 201911360689.8 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111001921A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;慕二龙;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/14;B23K20/24;B23K9/16;B23K9/235 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)准备超高纯铜靶材和具有螺纹的背板，并将铜粉加入到背板上的螺纹处，然后和超高纯铜靶材装配；(2)将装配好的超高纯铜靶材和背板放入包套，然后对包套进行焊接并抽真空；(3)将抽真空后的包套进行热等静压处理，之后冷却并移除包套，完成焊接；其中，所述螺纹的间距为0.35‑0.45mm；所述螺纹的深度为0.2‑0.3mm。本发明中，通过对螺纹尺寸的合理设置及整体工艺条件的配置，实现了在超高铜靶材焊接过程中，靶材仍能保持良好的导电、导热性能以及焊接强度，从而能够保证靶材溅射速率的均一性，此外还能够避免靶材在溅射过程中发生Partical、Peeling、Arcing等异常现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铜靶材 扩散 焊接 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911360689.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
