[发明专利]一种利用热载流子增强光电效应的红外成像单元

摘要

本发明涉及一种利用热载流子增强光电效应的红外成像单元，包括基底层，从下到上排列第一磷化铟层、第一砷化铟镓层、第二磷化铟层、第二砷化铟镓层、第二电极层；与第一砷化铟镓层、第二磷化铟层、第二砷化铟镓层并列的硅纳米结构层，设置于硅纳米结构层上方以及第二电极层上方的多个等离激元纳米结构层；该利用热载流子增强光电效应的红外成像单元，通过利用等离激元纳米结构层在硅纳米结构上产生光热电效应，从而提高光生载流子的利用效率，在硅纳米结构中存在的由于光生热载流子的温度梯度驱动的光电响应，即光热电效应。光热电效应可以有效利用传统光电探测无法利用的热化载流子的能量，进一步提高了光电转换效率。