[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器在审
| 申请号： | 201911365469.4 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111082771A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法，从下至上依次分布外延衬底、键合层、支撑层、底电极、压电薄膜、顶电极与介质层；压电薄膜的上表面还设有与顶电极位置不重合的电容下电极，介质层包覆于电容下电极的外表面，且顶电极的上表面显露于介质层；在介质层的上表面设有电容上电极，电容下电极与电容上电极的正投影重合。本发明公开了一种滤波器，包括多个体声波谐振器与基板、射频电容元件，且体声波谐振器平面排布于基板，且至少其中两个体声波谐振器串联，两个体声波谐振器并联，并联的体声波谐振器的顶电极上表面设有加厚层；射频电容元件连接体声波谐振器。本发明提高滤波器的带外抑制特性，减少外接电路引入的性能损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制备 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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