[发明专利]一种垂直型功率器件及其势垒调制方法在审
| 申请号： | 201911365838.X | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111129115A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨树;刘宇鑫;盛况 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/20;H01L21/329;H01L29/872 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种III‑V族氮化物功率器件，包括阳极、阴极和衬底，所述III‑V族氮化物功率器件包括：N型氮化镓漂移区，位于所述衬底上方；交替排列的类P型区和空间电荷窗口，所述类P型区形成于所述N型氮化镓漂移区内，位于所述阳极正下方，所述类P型区中引入电负性离子，所述空间电荷窗口位于相邻两个类P型区之间，在所述阳极与所述阴极之间提供电流通路；其中所述类P型区和空间电荷窗口位于所述N型氮化镓漂移区内部或者位于所述III‑V族氮化物功率器件的表面。这种结构能兼顾器件的正向导通性能以及反向击穿和反向漏电流性能，并且实现这种结构的工艺在实验室和工业生产的条件下可行性较高，方法较为简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 功率 器件 及其 调制 方法 | ||
【主权项】：
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