[发明专利]一种耐湿热的红外高反射光子晶体薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911368772.X 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111045118A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 李坤;王虎;张凯锋;熊玉卿;徐嶺茂;周超;李学磊 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: G02B1/00 分类号: G02B1/00;G02B5/12;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/30;C23C14/02
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 代丽;郭德忠
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明公开了一种耐湿热的红外高反射光子晶体薄膜及其制备方法,属于表面工程技术领域。所述薄膜由基底、过渡层和光子晶体层三部分构成,由下至上依次为基底、过渡层、光子晶体层,层与层之间相互接触。所述制备方法包括:基底清洗,抽真空及基底加热,离子束清洗,过渡层镀膜及离子束轰击,光子晶体膜层的沉积,取出样品。本发明所述薄膜红外反射率高,并且薄膜结构简单,能够实现3~5um红外高反射,同时能够耐受湿度≥95%、温度50±2℃的湿热环境考核,满足武器装备的使用要求;且制备方法简单。
搜索关键词: 一种 湿热 红外 反射 光子 晶体 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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