[发明专利]紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明提出了一种紫外光电探测器及其制备方法，其中，紫外光电探测器包括：衬底层；光敏层，设置在衬底层上；纳米铝阵列层，设置在光敏层上，覆盖光敏层的部分区域；其中，纳米铝阵列层包括：多个纳米铝块，多个纳米铝块以矩形阵列的形式设置在光敏层上；和/或多个铝纳米颗粒，多个铝纳米颗粒以矩形阵列的形式设置在光敏层上。本发明提供的紫外光电探测器，纳米铝阵列层通过阵列设置的铝纳米颗粒和/或纳米铝块，利用纳米铝结构的等离子体共振作用能够增强光敏层对检测波长的吸收。纳米铝的等离子体共振峰可以达到紫外区与光敏层共同作用，提高了本发明紫外光电探测器的响应度，在深紫外光的条件下，提高了本发明紫外光电探测器的探测性能。