[发明专利]用于具有单光子雪崩二极管像素的半导体器件的改进微透镜

摘要

本发明题为“用于具有单光子雪崩二极管像素的半导体器件的改进微透镜”。本发明公开了一种成像设备，其可以包括多个单光子雪崩二极管(SPAD)像素。该SPAD像素可以与方形曲面微透镜重叠以将入射在像素上的光引导到像素的光敏区域上。方形曲面微透镜可以被形成为与每个其他SPAD像素对准的第一组和第二组微透镜，并且可以允许在相邻透镜之间没有间隙的情况下形成方形曲面微透镜。除此之外或另选地，每个方形曲面微透镜的中心部分可以由填充微透镜填充。方形曲面微透镜和填充微透镜可以一起在每个SPAD像素上方形成凸形微透镜。形成填充微透镜的材料具有比形成方形曲面微透镜的材料更高的折射率。