[发明专利]基于MEMS集成式的气体传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911371286.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111044576B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/12;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 235000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS集成式的气体传感器及其制作方法。该气体传感器包括相对设置的加热单元和气体敏感单元，其中，所述气体敏感单元包括测试电极和气体敏感结构，所述气体敏感结构与所述测试电极电连接；所述加热单元包括与所述测试电极相匹配的加热层，所述加热层朝向所述气体敏感结构，且所述加热层与所述气体敏感结构无直接接触。本发明的气体传感器的制作方法可靠性更高，且该气体传感器在使用环境性能要求比较高的情况下可以满足需求，而且还可以避免多层薄膜结构在高温下使用造成的热应力和热膨胀系数匹配方面产生的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 集成 气体 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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