[发明专利]一种用一支真空漏孔校准真空计的校准装置及方法有效
| 申请号： | 201911371954.2 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111220326B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 赵澜;孙雯君;郭美如;管保国;张瑞芳;马亚芳;刘珈彤 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 代丽 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用一支真空漏孔校准真空计的校准装置及方法，该装置由真空漏孔、截止阀、压力计、被校真空计、抽气系统、稳压室、校准室、供气系统组成，当已知漏率的真空漏孔流出的气体进入校准室中，通过一段时间的累积，使得校准室内的产生气体的标准压力，通过比较标准压力与被校真空计的读数，实现对被校真空计的校准。该装置与方法，与常规的静态膨胀法相比，操作简单，效率高，通过一支漏孔就可实现不同气体对真空计量程宽的精确校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用一支 真空 漏孔 校准 真空计 装置 方法 | ||
【主权项】：
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