[发明专利]含广藿香醇结构的锍鎓盐类光致酸产生剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201911372620.7 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111116426A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 郭颖;蒋小惠;毕景峰;李嫚嫚 | 申请（专利权）人： | 上海博栋化学科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C303/22 | 分类号： | C07C303/22;C07C309/06;C07C381/12;G03F7/004 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201614 上海市松江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种含广藿香醇结构的锍鎓盐类光致酸产生剂及其制备方法，所述光致酸产生剂包括阴离子和阳离子，所述阴离子与所述阳离子分别具有如下结构： |
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| 搜索关键词： | 广藿香 结构 盐类 光致酸 产生 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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