[发明专利]阀控制装置以及真空阀有效
| 申请号： | 201911373128.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111750125B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/314;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/00;F16K37/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够缩短调压时间的阀控制装置以及真空阀。阀控制装置(2)具备：关闭控制部(21)，基于目标压力(Ps)生成利用关闭控制的开度控制信号即开度设定输出(Δθ)；以及开度增量产生部(22)，与真空腔室(3)的压力(Pr)达到目标压力(Ps)的时机t1同步地，基于真空阀的开度(θr)、压力(Pr)、目标压力(Ps)以及开度(θ)与实效排气速度(Se)的相关关系Se(θ)、Gp(θ)生成开度增量(Δθblow)，并将所述开度增量(Δθblow)与开度控制信号(Δθ)相加。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 以及 真空 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911373128.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种UV固化加硬眼镜片的制备方法及其制备装置
- 下一篇：碗式送料器
