[发明专利]由螺[5.5]十一烷-3,9-二酮合成的光刻胶树脂单体及其合成方法在审
| 申请号： | 201911373766.3 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111056945A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 李嫚嫚;蒋小惠;毕景峰;郭颖 | 申请（专利权）人： | 上海博栋化学科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C69/533 | 分类号： | C07C69/533;C07C67/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201614 上海市松江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种由螺[5.5]十一烷‑3,9‑二酮合成的光刻胶树脂单体及其合成方法，属于化学合成和光刻技术领域。该光刻胶树脂单体的结构通式为： |
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| 搜索关键词： | 5.5 十一 合成 光刻 树脂 单体 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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