[发明专利]一种具有根状电极结构的湿度传感器在审
| 申请号： | 201911375041.8 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110907507A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 盛俊杰;邱勇;王延杰;李树勇;徐勇;张奇 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 叶明博 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有根状电极结构的湿度传感器，包括作为电介质的一层基体膜、两个表面电极层、多个根状电极；两个表面电极层黏附于基体膜的上下表面；多个根状电极设置于基体膜内部，且每个根状电极均并与一表面电极层相连。本发明根状电极结构微观上具有纳米结构，宏观上呈现微米结构，相比于现有梳状电极结构，大大增加电极与芯层之间的接触面积；所涉及的电极层的微‑纳米颗粒状结构和根状电极，共同增加了传感器的湿度敏感度；由于基体膜材料的柔韧性和厚度的可选择性，该湿度传感器可以制作成多种形状；本申请所涉及的电容式湿度传感器经过改进可以适用于检测压力、位移、气体浓度等物理量，应用广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 电极 结构 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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