[发明专利]一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架

摘要

本发明涉及一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架。热丝支架包括上钼电极1，下钼电极2，陶瓷管3，热丝4，钼圆棒5，自重钼块6，隔热档板7，钼螺丝8和高温轻质弹簧9。将热丝安装在之架上并把整个支架竖直地放入真空腔中，之后上下钼电极与隔热档板后的铜电极柱14连接。本发明有效地克服了现有的热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜时，热丝易脆断和热丝弯曲形变造成的厚度、质量不均匀问题。