[发明专利]一种高效射频等离子体源发生装置在审
| 申请号： | 201911376809.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111447722A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;鹿建;王艳会;赵子淳;叶雨城 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：包括能量耦合器、等离子产生器、进气结构、离子束调节器、离子束扩散区、束流聚焦区和真空腔体；所述等离子产生器连接所述能量耦合器；所述进气结构连接所述等离子产生器；所述等离子产生器连接所述离子束调节器；所述离子束调节器连接所述离子束扩散区；所述束流聚焦区连接所述离子束扩散区；所述真空腔体连接所述束流聚焦区。本发明的有益效果是：成本低廉，使用寿命高，结构简单且高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 射频 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
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