[发明专利]具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计有效
| 申请号： | 201911378596.8 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN113049995B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈方;李昕欣;周伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01R33/028 | 分类号： | G01R33/028 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路。本发明的磁强计具有较好的零漂移稳定性及较好的温度特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 接口 检测 电路 谐振 结构 微机 械洛伦兹力 磁强计 | ||
【主权项】：
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