[发明专利]e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路有效
| 申请号： | 201911379047.2 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111088479B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 鲁朝宇;邓荣斌;马兴民;张丽娟;段尧;方江璨 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;H01J3/02 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 和琳 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供一种e形多电子束蒸镀装置，该蒸镀设备包括永久磁铁N极、S极、X/Y扫描线圈、坩埚、冷却水及电子束发射器；采用磁偏转式电子束，使得电子束路径呈现e字型，偏转角为270度，其中电子束发射器的由灯丝阴极、阳极、偏转线圈等其他部件构成。从多电子束与旋转坩埚两方面应对电子枪故障问题。e形多电子束蒸镀设计大幅度提高了蒸镀效率和熔点，此外，为了提高蒸镀过程薄膜沉积速率精度和稳定性，本发明专利从热电子发射模块、高压电子加速模块和电子束偏转模块三个方面设计了新的电子枪电路。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 装置 电子枪 电路 | ||
【主权项】：
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