[发明专利]能量调节装置、能量调节方法、照明系统以及光刻机有效
| 申请号： | 201911379586.6 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN113050378B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 贾翔;王进霞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能量调节装置、能量调节方法、照明系统以及光刻机。该能量调节装置包括：匀光单元、光强调节单元、光强测量单元以及控制单元，光强调节单元和光强测量单元分别于控制单元连接；匀光单元包括相对设置的入射端和出射端，以及连接入射端与出射端的侧壁；匀光单元的至少部分侧壁被光强调节单元包覆；光强测量单元用于测量匀光单元的出射端的实际光强，并反馈至控制单元；控制单元用于调节光强调节单元和/或匀光单元，以调整匀光单元与光强调节单元中的调光介质的接触面积，以使实际光强等于需求光强。本发明的技术方案，可简化能量调节装置和方式，工艺要求低；从而可降低成本，提高生产效率和产率，从而有利于提高经济适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 调节 装置 方法 照明 系统 以及 光刻 | ||
【主权项】：
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