[发明专利]浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机有效

专利信息
申请号: 201911380274.7 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN113050380B 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 陈言亭;余斌 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机,所述浸没头的集成工装包括:支撑单元,用于作为光刻机的投影物镜和浸没头的载体;垂向位置探测单元,用于检测投影物镜与浸没头之间的垂直距离、投影物镜的轴心与浸没头的轴心之间的水平距离以及投影物镜与浸没头的相对的面的水平度偏差;水平位置调整单元,用于调整浸没头在水平方向上的位置,以使得浸没头的轴心与投影物镜的轴心重合;垂向位置调整单元,用于调整浸没头在垂直方向上的位置,以使得浸没头与投影物镜的相对的面平行,且使得浸没头到达所需的安装位置。本发明的技术方案使得浸没头能够安全且准确地安装到投影物镜下方的所需的安装位置。
搜索关键词: 浸没 集成 工装 及其 方法 光刻
【主权项】:
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