[发明专利]一种防溅回收组件有效
| 申请号： | 201911381172.7 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111085491B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆英静 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防溅回收组件，该半导体清洗设备包括多个升降机构，每个所述升降机构的升降端设置有多个回收环，每个所述回收环的上方对应设置有防溅板，相邻的防溅板之间形成引流槽道；和控制器，所述控制器接收清洗指令并控制对应的所述升降机构的升降以使对应的防溅板与清洗盘持平。采用本发明的防溅回收组件时，控制器接收清洗指令，并控制对应的升降机构调整对应的防溅板与清洗盘持平，并将清洗液回收到对应的回收环中。由于采用本发明的防溅回收组件能够根据不同的清洗液选择对应的防溅板以及回收环，因此，能够有效的防止交叉污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 组件 | ||
【主权项】：
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