[发明专利]一种声表面波器件等离子去胶方法在审
| 申请号： | 201911381353.X | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111123665A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 童筱钧;童丽琳 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 杨静文 |
| 地址： | 213032 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种声表面波器件等离子去胶方法，采用两步去胶法，第一步在等离子去胶机的真空反应主去胶室利用工作气体Ⅰ在微波或射频的作用下产生反应的等离子，对光刻胶进行物理轰击作用和化学反应来刻蚀并快速去除绝大部分厚度的光刻胶，第二步利用微波控制的远程等离子发生室内的工作气体Ⅱ产生不具有等离子物理轰击作用的远程等离子对第一步去胶余下的厚度约100到400埃厚度的光刻胶进行刻蚀，如此将快速去除与远程遥控去除相结合，达到去胶速率快同时对器件损伤小的双重目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 器件 等离子 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州工学院，未经常州工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911381353.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：呼吸机
- 下一篇：一种定额发票售票装置
