[发明专利]一种高频响精密测力装置有效
| 申请号： | 201911382681.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN113049173B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 余斌;罗晋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/00 | 分类号： | G01L11/00;G01M10/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高频响精密测力装置，用于浸没式光刻设备，包括顶部结构件、浸没结构件、承力单元、导向结构、测力组件以及支撑框架；顶部结构件位于所述浸没结构件的上方,流体介质在浸没结构件中流动中产生扰动力,承力单元位于浸没结构件的下方；导向结构包括导向结构本体和运动件，所述导向结构本体围设在所述承力单元的外围，其底部与支撑框架固定,运动件位于导向结构本体靠近承力单元的一侧；测力组件与承力单元接触连接，用于获取浸没结构件中流体介质的扰动力。本发明提供的一种高频响精密测力装置，解决了基于单个传感器的结构稳定性问题，在保证测量精度的同时，实现了高频响应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 精密 测力 装置 | ||
【主权项】：
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